誉风2RB 720-7H2/3KW-380V电子和半导体工业需用罗璇风机流量330m3/h真空280mbar
详细信息
| 品牌:誉风 | | 型号:2RB 720-7H2/3KW-380V | | 材质:铝合金 | |
| 轴功率:3 kw | | 叶片数:双 | | 重量:48 kg | |
| 涡轮头性质:叶轮 | | 转速:2800 | | 配套电机功率:3 kw | |
| 适用范围:真空吸附两用漩涡气泵增氧爆气污水处理设备送风抽气 | | | | | |
一、关键性能参数
- 流量参数:该风机的流量为 330m³/h。在电子和半导体生产中,许多工艺环节对气体流量有严格要求。例如,在半导体芯片制造的化学气相沉积(CVD)工艺里,需要精确控制反应气体的流量,以确保薄膜沉积的均匀性和质量稳定性。330m³/h 的流量能够为相关生产设备持续、稳定地提供适量气体,满足生产线上对气体量的需求,保障生产流程的顺畅进行。
- 真空参数:其真空度可达 280mbar。在电子元件的制造过程中,如真空镀膜、电子束焊接等工艺,需要在特定的真空环境下完成。280mbar 的真空度能够营造出满足这些工艺要求的真空条件,防止在加工过程中,由于空气杂质等因素导致产品出现缺陷,从而提高电子元件的生产质量和良品率。
- 电机功率与电压:风机配备 3KW 功率的电机,采用 380V 电压。3KW 的功率为风机的稳定运行提供了充足动力,确保在要求的流量和真空度条件下,风机能够持续高效工作。380V 的工业常用电压,使得该风机易于接入工厂的电力系统,方便在工业生产环境中使用。
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二、结构设计特点
- 叶轮设计:采用特殊设计的叶轮,叶片形状和布局经过优化,能够在旋转过程中高效地对气体做功。在电子和半导体工业中,气体的输送需要尽可能减少扰动和杂质混入,该叶轮设计可使气体在风机内部平稳流动,降低气体在输送过程中的能量损失,同时减少因叶轮转动对气体产生的污染风险,保证输送气体的纯净度,满足行业对气体质量的严格要求。
- 密封结构:具备高精度的密封组件,采用机械密封与迷宫密封相结合的方式。在电子和半导体生产环境中,微小的气体泄漏都可能对产品质量造成严重影响。这种双重密封结构能够有效阻止气体泄漏,确保风机内部的真空环境稳定,防止外部空气或杂质进入系统,为生产过程提供可靠的气体压力和纯度保障。
- 材质选用:风机外壳及关键部件选用优质材料制造。例如,可能采用耐腐蚀的金属材料或特殊工程塑料,以应对电子和半导体工业中可能存在的化学腐蚀环境。在一些涉及到腐蚀性气体的工艺中,如蚀刻工艺,设备需要具备良好的抗腐蚀性能,该风机的材质选择能够保证其在恶劣的化学环境下长期稳定运行,延长设备使用寿命,降低维护成本。
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三、应用场景适配
- 电子芯片制造:在芯片制造的多个环节,如光刻、刻蚀、离子注入等工艺中,需要精确控制气体流量和压力,并维持一定的真空环境。誉风 2RB 720 - 7H2/3KW - 380V 罗茨风机能够为这些工艺设备提供稳定的气体供应和所需的真空条件,确保芯片制造过程的高精度和一致性,有助于提高芯片的性能和生产效率。
- 半导体封装:在半导体封装过程中,需要对封装腔体进行抽真空处理,以防止封装内部出现气泡或杂质,影响芯片的电气性能和可靠性。该风机的高真空能力能够快速将封装腔体内的空气抽出,达到所需的真空度,同时其稳定的流量控制可以保证在封装过程中,填充气体能够均匀、准确地进入腔体,确保封装质量。
- 电子材料生产:在电子材料的生产过程中,如制造电子级硅材料、有机发光二极管(OLED)材料等,对气体的纯度和流量控制要求极高。誉风罗茨风机能够提供纯净、稳定流量的气体,满足电子材料生产过程中的反应条件,有助于生产出高质量的电子材料,为电子和半导体产业的发展提供坚实的基础材料保障。